大口徑石英管

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低壓擴散的工藝優勢

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低壓擴散的工藝優勢

發布日期:2020-09-16 作者: 點擊:

低壓擴散石英管的這種制成工藝有什么優勢呢?

低壓擴散的優勢:

常壓擴散爐通常采用管口或管尾進氣,通過大氮氣流將磷源帶到另一端,易造成一端磷源濃度高、另一端濃度低的現象,而且常壓下氣體分子自由程較小,各區域硅片接觸磷源幾率差距較大,只能通過調節溫度控制方塊電阻值,無法保證片內及片間均勻性。

低壓擴散石英管

低壓擴散在擴散爐工作腔內使用負壓環境,氣體分子自由程變大,可以提高擴散爐管內氣流的均勻性,避免湍流產生,從而提高擴散的均勻性,為晶硅太陽電池效率進一步提升奠定了基礎。由于擴散方阻均勻性的提高,裝片石英舟槽間距設計可降為標準值的一半左右,這樣可以在設備體積不變的情況下將產能提高1倍。此外,低壓擴散過程中化學品的利用效率提高,工藝過程中化學品的用量大幅降低,節省成本。

低壓擴散工藝優化實驗:

工藝溫度優化

在低壓環境下,擴散源的分子自由程增長,擴散源的占比增大,低壓擴散中磷原子沉積于硅片表面的速率遠快于常壓擴散。這樣容易引起磷原子集中于硅片淺表面,如果高溫低壓推進過程不能將這些磷原子推進至合適深度,就會使硅片淺表面磷濃度過大,引起硅片淺表面電子空穴對復合過快,進而影響太陽電池光電轉換效率。優化擴散工藝中的高溫推進溫度和時間顯得尤為重要。

低壓擴散石英管

方阻的測試方法:每管選取3片硅片分別為爐口一片,爐中一片,爐尾一片;每片選5個測試點,中心、右上、右下、左下、左上5點位置。片內不均勻性的計算方法為:片內不均勻性=(Z大值-Z小值)/(Z大值+Z小值)。

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